
聊大講壇:歐陽(yáng)俊談“鈣鈦礦鐵電薄膜的集成及應(yīng)用研究”
11月1日下午,齊魯工業(yè)大學(xué)化工學(xué)院教授歐陽(yáng)俊受邀做客聊大講壇,作了題為“鈣鈦礦鐵電薄膜的集成及應(yīng)用研究”的學(xué)術(shù)報(bào)告。報(bào)告會(huì)由材料科學(xué)與工程學(xué)院副院長(zhǎng)李偉主持,材料科學(xué)與工程學(xué)院等相關(guān)教師、研究生及本科生參加了本次報(bào)告會(huì)。

歐陽(yáng)俊從硅基工業(yè)微器件進(jìn)行引入,介紹了在微電子和微機(jī)電系統(tǒng)中使用的鐵電薄膜的特點(diǎn)。鐵電薄膜由于熱處理溫度的限制(<500℃),多為隨機(jī)多晶結(jié)構(gòu),存在剩余極化Pr小、電學(xué)性能差等缺點(diǎn),阻礙了相關(guān)元器件朝著小型化、高性能方向的進(jìn)一步發(fā)展。因此,歐陽(yáng)俊開(kāi)發(fā)了通過(guò)緩沖層技術(shù)結(jié)合與半導(dǎo)體工藝高度兼容的中低溫磁控濺射方法,在室溫至500℃的溫度范圍內(nèi)制備了一系列高取向、高性能鈣鈦礦鐵電氧化物薄膜,這些材料的基本特性填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)外相關(guān)材料制備溫度和相應(yīng)功能特性的空白。特別值得一提的是,制備的鈦酸鋇基薄膜電容器(鐵電、超順電)、鐵酸鉍和PZT薄膜壓電懸臂梁等儲(chǔ)能和換能原型器件,材料各項(xiàng)指標(biāo)優(yōu)異,展現(xiàn)了從材料到器件應(yīng)用的高度可行性。
整場(chǎng)學(xué)術(shù)報(bào)告精彩絕倫、內(nèi)容殷實(shí),使廣大師生對(duì)鈣鈦礦鐵電薄膜的研究發(fā)展與應(yīng)用情況有了更加深刻的認(rèn)識(shí)。報(bào)告結(jié)束后,歐陽(yáng)俊針對(duì)教師提出的科研問(wèn)題進(jìn)行了詳細(xì)地解答。參會(huì)人員表示受益匪淺。
歐陽(yáng)俊,齊魯工業(yè)大學(xué)化工學(xué)院教授,“新能源材料化學(xué)與功能器件”科研團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人,2013年11月入選教育部新世紀(jì)優(yōu)秀人才,2021年入選湖南省“芙蓉學(xué)者”講座教授。主持承擔(dān)包括國(guó)家基金和省重大基礎(chǔ)研究項(xiàng)目在內(nèi)的科研課題30余項(xiàng)。在國(guó)際期刊上發(fā)表SCI論文130余篇,在國(guó)際會(huì)議上做大會(huì)和分會(huì)邀請(qǐng)報(bào)告近30余次,并多次組織國(guó)際會(huì)議或擔(dān)任國(guó)際會(huì)議分會(huì)主席。主編英文學(xué)術(shù)專(zhuān)著1本,獲專(zhuān)利授權(quán)12項(xiàng)含國(guó)際專(zhuān)利1項(xiàng),獲中國(guó)硅酸鹽學(xué)會(huì)2018年度特種陶瓷學(xué)術(shù)獎(jiǎng)、電子元器件關(guān)鍵材料與技術(shù)專(zhuān)委會(huì)青年才俊獎(jiǎng)(2021)和優(yōu)秀論文獎(jiǎng)(2022)、中國(guó)硅酸鹽學(xué)會(huì)第六屆優(yōu)秀博士論文提名獎(jiǎng)(導(dǎo)師)等榮譽(yù)。
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時(shí)間 :2024-11-07
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來(lái)源 : 聊城大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院
作者 : 梁藝璇